專訪太克Keithley部門資深技術顧問陳思豪、張志豪　脈波量測確保3D感測光源品質

以整個3D感測的市場發展而言，太克Keithley部門資深技術顧問陳思豪指出，未來幾年無論是臉部辨識或車用光達(LiDAR)，年複合成長率(CAGR)都超過20~30%，VCSEL擁有較低的消耗功率和較好的圓形對稱輸出模態，能夠有高品質的單模輸出光源。在3D感測的應用中，如果要增加檢測距離或是提高解析度，高輸出功率且模態穩定的光源非常重要。

與其他雷射光源相較，VCSEL的穩定性與耐候性都較好，太克Keithley部門資深技術顧問張志豪表示，光源影響系統表現甚鉅，甚至在晶圓階段就需要進行量測，然而每片晶圓上雷射晶粒的數量眾多，無法做到普測，如何透過快速的抽樣測試準確判斷雷射晶粒的品質，以免完成系統設計之後才發現晶粒的發光出現問題，就是現階段的重大挑戰。

陳思豪說明，太克的脈波產生器將高電流/高速脈波產生器的功能以及傳統SMU的測量功能和全部功能整合在一台儀器，每個接腳並列測試最多擴充32個TSP連結節點。達到10μs的10A@10V脈波寬度和完整的1MS/s數位化功能提高應用的生產力，範圍從桌上型特性到高度自動化脈波I-V生產測試。可以自動產生10μs電流脈衝，無需手動調整即可進行VCSEL測試。

該脈波產生器的控制迴路系統無需手動調整高達3μH的負載變化，可確保在任何電流量(最高10安培)下輸出10μs至500μs的脈波時，張志豪強調，脈波均不會出現過沖和振盪。由於脈波上升時間<1.7μs，因此可以正確分析受測裝置或電路的特性，其高完整性脈波輸出，無需在任何電流量下調節。