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RDL First,製程控制,暫時接合材料,晶圓測試

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設備/材料齊助OSAT度難關 先進封裝挹注半導體成長動能

台灣半導體業界的年度盛事--Semicon Taiwan 2018於日前圓滿落幕,本屆展會規模再創歷屆之最,展出攤位逾2,000個,吸引超過45,000位專業人士參觀,聚集680家國內外領導廠商,舉辦22場國際論壇,超過200位重量級講師蒞臨演說。這也使得Semicon Taiwan正式超越Semicon Korea,成為全球第二大半導體專業展。 不過,在展覽規模破紀錄的同時,參展廠商跟專業研討會主力探討的議題,已經不再是製程微縮,而是如何用先進封裝技術實現異質整合。在聯電、格芯(GLOBALFOUNDRIES)先後宣布停止先進製程研發後,先進封裝料將成為未來帶動半導體產業發展的新引擎。 這不是說先進製程已經不重要,而是在只剩下台積電、三星(Samsung)跟英特爾(Intel)能提供更先進製程,用得起的IC設計、系統廠客戶也越來越少的情況下,先進製程未來將會變成小眾議題。未能留在先進製程競技場的半導體業者,則必然要尋求其它成長動能。 扇出封裝將是基本功RDL First考驗OSAT 自從台積電在2016年成功將InFO推向量產以來,晶圓級扇出封裝(FOWLP)就一直是封裝業內最熱門的技術話題之一。由於手機應用處理器是封裝業者獲利空間較大的產品,台積電的InFO封裝技術一直讓封裝業者深感威脅,並試圖發展出自己的FOWLP技術。 不過,即便排除掉台積電分食高階產品訂單的威脅,對封裝業者來說,FOWLP也是一條必然要走的路。由於晶片的I/O數量越來越多,裸晶尺寸卻沒有明顯成長,使得凸塊(Bumping)封裝技術的密度將逼近物理極限。因此,未來封裝業者必然要設法把過度密集的I/O散布開來,才能把晶片整合到載板上,而這也是這種技術被命名為扇出封裝的原因。 然而,對晶圓製造跟封裝業者來說,一樣是扇出封裝,技術難度卻是天差地遠。晶圓製造業者要做扇出封裝,可以採用晶片優先(Chip First)製程,但如果是封裝業者,卻只能採用RDL優先(RDL First)製程。 Chip First製程的步驟如下:首先,在晶圓上挑選出已知合格裸晶(KGD),然後將KGD放到基板上,再以模壓樹脂包覆成重構晶圓;接著將重構晶圓以暫時接合材料黏貼到載板,使其平坦化。最後才是在晶圓上製造出線路重布層(Redistribution Layer, RDL)。 RDL First製程(圖1)則是先在載具晶圓上製造出RDL,並塗上暫時接合材料,然後再將KGD放置在合格的RDL上,隨後進行壓模與模具研磨製程。在壓模跟模具研磨製程中,裸晶還要再經過金屬化(Metalization)、微影、介電質沉積、電鍍等製程,這意味著相關材料不僅要通過更多道製程,而且會接觸到更多化學品。 圖1 RDL First製程流程 當然,RDL Last也有其挑戰,因為要在晶圓上製造RDL,相關材料還是得暴露在高溫環境跟各種化學品中,只是在材料跟製程技術上,其困難度比RDL First來得低。 布魯爾科技(Brewer Science)研發執行總監Rama Puligadda表示,使用在RDL First製程上的材料,必須具備更穩定的機械、化學跟熱特性,才能在後續多道製程步驟中存活下來。這也意味著暫時接合材料必須有更強大的性能,方可發揮保護元件的效果。事實上,暫時接合材料不只是用來把晶圓或RDL暫時黏貼在載具上而已,該材料本身也是晶圓或RDL的防護罩,使用具有適當特性的暫時接合材料,對提升製程良率有很大的幫助。 在本屆Semicon Taiwan期間,布魯爾特別發表一款專為RDL優先製程而設計的BrewerBUILD材料,該材料就具有比一般暫時接合材料更強的機械、化學與熱性能,可以協助封裝業者克服RDL First製程的挑戰。此外,該材料一旦與載具體剝離,建構層就會被移除,且可用紫外(UV)雷射剝離。 值得一提的是,該材料不僅可以用在晶圓封裝,同時也適用於面板封裝,這項特性也是為封裝業者的需求而開發的。封裝業者通常傾向於採用面板封裝,因為面板封裝的生產效率優於晶圓封裝。 RDL線寬或成新摩爾定律 無獨有偶,檢測設備與製程控制方案業者KLA-Tencor在本次展會也主打兩款為封裝應用設計的缺陷檢測產品。Kronos 1080系統為先進封裝提供適合量產的、高靈敏度的晶圓檢測,為製程控制和材料處置提供關鍵資訊。 ICOS F160系統在晶圓切割後對封裝進行檢查,根據關鍵缺陷的類型進行準確快速的晶片分類,其中包括對側壁裂縫這一新缺陷類型的檢測。 KLA-Tencor資深副總裁暨行銷長Oreste Donzella(圖2)表示,隨著製程線寬微縮的速度逐漸放緩,晶片封裝技術的進步,已成為提升半導體元件性能的重要因素。先進封裝技術不僅可以縮小元件尺寸,也能藉由異質整合在有限空間內整合更多功能,是推動半導體產業繼續往前邁進的重要動能。 圖2 KLA-Tencor資深副總裁暨行銷長Oreste...
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