Inkron
EVG攜手INKRON開發高折射率材料/奈米壓印微影製程技術
微機電系統(MEMS)、奈米科技與半導體市場的晶圓接合暨微影技術設備之廠商EV Group(EVG)日前宣布和致力於高低折射率塗層材料的製造商Inkron的合作夥伴關係。兩間公司將為開發和生產高品質繞射光學元件(DOE)結構提供優化的製程和相符的高折射材料。這些DOE結構包括用於擴增實境、混合實境、虛擬實境(AR/MR/VR)元件的波導管,以及在車用、消費性電子和商業應用中的先進光學感測元件,如光束分離器和光束擴散器。
EVG技術開發和IP總監Markus Wimplinger表示,商用和消費者市場對晶圓級光學元件和感測器的需求正以驚人的速度成長,催生所需的原物料及製程的優化,以達到市場所需的效能及產能。Inkron在光學材料方面擁有廣泛的專業知識,並且是高折射和低折射塗層材料的製造商之一,Inkron能成為該公司在NILPhotonics技術處理中心合作的理想夥伴。這樣的合作能使EVG進一步探索和擴展該公司NIL技術的應用和特性,而得以為下一世代光學元件和其終端產品提供可用於量產的解決方案。
此合作夥伴關係在位於EVG總部奧地利的NILPhotonics技術處理中心內展開。EVG的NILPhotonics技術處理中心為NIL供應鏈中的客戶和合作夥伴提供一個開放式的創新平台,其目的為縮短新創光學元件及其應用的開發週期和產品上市時間。因應該協議的一部分,Inkron為自己的研發機構購買EVG 7200 NIL系統,以加速新光學材料的開發和驗證。EVG 7200系統利用EVG的創新SmartNIL技術和材料經驗,能夠大規模量產小至30nm的微米和奈米級結構,其特色還包含只需用到較小的脫膜力道同時能維持結構不至變形,快速的高功率曝光和平順的脫模。
2020美國西部光電展肖特/Inkron/EVG/WaveOptics聯手推新波導片
擴增實境(AR)領域的公司之間攜手加快消費級AR穿戴設備的開發進程。肖特集團、Inkron公司,EV集團(EVG)和光波導元件廠商波光(WaveOptics)在2020美國西部光電展上展示首個在玻璃基板上制成的折射率為1.9、結合奈米樹脂結構的波導片。該波導片的生產於一個300mm晶圓上完成,此晶圓現已可大量生產。
肖特擴增實境領導人Ruediger Sprengard博士表示,市場對與高折射樹脂結合的高折射玻璃一直都有很高的需求。肖特攜手合作夥伴Inkron再一次為先進波導的基礎設備提供先進的解決方案。最新一代的肖特RealView光學玻璃性能可以與高折射樹脂結合,並能滿足EVG的NIL工藝實現量產要求,已經可以開始下一代視場波導片的製造。
德國肖特現推出折射率為1.9,直徑為300 mm的肖特RealView高折射率玻璃晶圓。此晶圓的大量生產為下一代AR波導片的量產提供基礎,在保證AR所需的極高精度標準的同時,單位成本更低。奈米技術公司Inkron所生產的樹脂折射率為1.9,藉由全整合和體量驗證的EVG HERCULES NIL奈米壓印工藝平台,該樹脂可在單個300mm SCHOTT RealView1.9晶圓上壓印多達24個波導片。此產品融合高性能波導光學設計公司WaveOptics提供的波導結構、肖特的專業光學玻璃製造經驗、Inkron的樹脂配方與EVG的標準奈米壓印工藝(NIL)攜手塑造AR未來。
在2020美國西部光電展上,各公司將首次公開展示為大規模生產寬視場角設備所做出的努力。高折射率玻璃和樹脂的這種新組合在300mm晶圓上的應用並證明300mm玻璃與樹脂的相容性,為低成本的AR波導製造系統奠定基礎。
肖特AR創新經理Frederik Bachhuber博士表示,與合作夥伴Inkron和EVG聯手,這標誌著我們朝著滿足消費者市場方向邁出了重要一步。一方面用性能良好的產品對AR玻璃晶圓進行不斷創新;另一方面該公司與夥伴合作為零件賦予「光學生命」,而且馬上可實現大量生產。
在EVG的NIL光子學技術中心,使用其專門的晶圓加工設備製造演示器。其中包括EVG最近推出的HERCULESNIL 300mm全模組化和具有SmartNIL技術的整合式UV-NIL系統,可在直徑最大為300mm的基板上複製結構。
Inkron的高RI樹脂IOC-133具有高折射率(1.9)、出色的可加工性和光學性能。這些材料特徵與肖特 RealView基板以及EVG的專業工藝結合,為WaveOptics的波導設計奠定堅實的基礎。
具有高折射率的SCHOTT RealView玻璃晶圓是下一代AR/MR設備的關鍵組件。玻璃晶圓是客戶多層RGB波導的基礎,因此是AR/MR顯示單元的關鍵部分,可實現身臨其境的用戶體驗。肖特提供廣泛的產品組合,從直徑為100,150, 200,到300mm的晶圓,可分別實現從1.5到1.9不等的折射率。
肖特科學家和玻璃專家一直在不斷提高AR/MR光學玻璃的品質,並在其德國光學玻璃中心為下一代產品創新提供動力。同時,肖特具有成熟的大量生產經驗,可始終如一滿足產業的高品質要求,為快速發展的AR市場服務。作為沈浸式體驗的關鍵組成部分,肖特的RealView玻璃晶圓被國際訊息顯示協會(SID)評為2019年顯示產業年度最佳顯示組件獎。