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聯華林德攜手宇川精密材料開發半導體材料

聯華氣體工業(聯華林德)宣布將與半導體物質供應商宇川精密材料(PentaPro Materials)合作,預計未來兩年投資總計新台幣九千萬元,於台南廠區共同開發三甲矽烷基胺(Trisilylamine, TSA)生產設備及產線,預計每年生產產能可達3.6噸,計畫於2020年第三季投產。 雙方正式宣布合作後,聯華林德總經理唐靜洲先生表示,宣布這項新投資是該公司對在地生產特殊氣體承諾持續實踐。伴隨聯華林德Spectra EM產品組合,此投資更能穩定供應台灣、中國及亞洲的電子業客戶需求。 新型TSA生產設備將採用尖端製程,並搭配良好安全及分析基礎設施。考量供應鏈應變計畫,生產廠區策略性地選在對TSA需求與日俱增的亞洲市場。 TSA主要用於邏輯技術節點及3D NAND位元線主要氧化物填充,使用FCVD機台將矽電介質沉積至淺溝槽隔離技術(STI)中。由於3D NAND在存儲層中的堆疊層成長,從而增加存儲孔高度,因此TSA使用正在成長。 聯華林德和宇川精密科技結合雙方在化學、製程技術及分析總計超過三十年經驗,攜手開發TSA並預計於2020年第三季量產。聯華林德將代理此產品銷售,將其納入Spectra EM品牌系列,從亞洲市場出發,陸續為全球半導體產業客戶提供服務。
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聯華林德ESGs助威 台灣半導體產業鏈自給率升級

高科技發展迅速,在技術進步的同時,也代表生產製造的過程更加嚴謹,同時要求精準度與良率,電子特殊氣體(Electronic Special Gases, ESGs)即是在半導體製程中協助平坦化、清潔、間隔不同Layer等,聯華林德藉由在地化研發與生產電子特殊氣體,為台灣與各地區的半導體業者提供高品質的電子材料,並設立新研發中心,滿足半導體業者與日俱增的材料需求。 台灣最大工業氣體製造商聯華林德,日前在旗下中港工廠舉辦電子材料「SPECTRA EM」品牌上市發表會,推出「一氧化二氮」及「三氟化氮」等11項產品,鎖定電子及半導體等行業所需ESGs市場,聯華林德目前已獨立開發出20種電子材料,並持續研發其他多種材料。除了在地化生產,該公司在台灣的第一家電子等級氟氣工廠也開始商業化生產。 SPECTRA EM是聯華林德與林德集團共同推出的品牌。SPECTRA N氮氣產生器為半導體和面板產業的客戶,提供彈性及高效能的氮氣解決方案。SPECTRA光學雷射氣體則是氖氣與鹵素氣體混合物,此穩定、精確的氣體混合物,能讓客戶利用深紫外光(Deep UV)微影技術,提高生產效能與效率。鑑於半導體製造商專有製程需要客製化的材料解決方案,SPECTRA  EM Gold能提供客製化的純度等級,及更多分析技術與專業包裝。 因此,聯華林德位於中港分公司的研發中心,也協助客戶開發應用於尖端製程的次世代分子技術,具備世界級的電子特氣及原物料分析能力,包括常用的氣相層析、特殊規格氣相層析、鑑識分析/廣域分析/分析方法開發、利用ICP-MS進行金屬不純物分析前的ESG樣品採樣、廣域分析、惰性及腐蝕性氣體的專用水氣分析、混合氣成分濃度量測、惰性氣體的粒子計數、移動式質譜分析、特定不純物的專用分析等。
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